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PI固化爐適用于晶圓、玻璃基板、陶瓷基板旋涂后固化；晶圓退火。光刻工藝有機聚合物膜預固化、堅膜、PI固化

高溫低氧烘箱特點：溫度可達600℃；氧含量＜20ppm極速降氧

高溫真空烘箱適用于半導體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理

充氮真空烘箱適用于半導體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理

無氧化烘箱